КорзинаКорзина

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Год выпуска: 2018
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Наличие: На складе
539 р.
Купить Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособиекупить

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Товар имеет сертификаты качества и безопасности и соответствует нормам санитарной гигиены. Прилагается гарантийное обязательство. Предлагается дисконтная накопительная система, а также корпоративная скидка 10% на заказ от 20 шт. На странице офомления заказа будет дана более исчерпывающая информация о стоимости доставки в ваш регион и о вашей личной скидке.

Книжный раздел

Позвольте Вам предложить