Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Товар имеет сертификаты качества и безопасности и соответствует нормам санитарной гигиены. Прилагается гарантийное обязательство. Предлагается дисконтная накопительная система, а также корпоративная скидка 10% на заказ от 20 шт. На странице офомления заказа будет дана более исчерпывающая информация о стоимости доставки в ваш регион и о вашей личной скидке.
Позвольте Вам предложить
-
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения…
-
Нанотехнологии в учебном процессе
Учебное пособие для учителей. На сегодняшний день ни один грамотный учитель не может обойтись в своей работе без использования нанотехнологий.
-
Плазменные электротехнологические установки. Учебное пособие
Изложены физические основы преобразования электрической энергии в энергию плазмы на основании современных представлений о взаимодействиях плазмы с электромагнитным полем; рассмотрены электрические…
-
Биомедицинские нанотехнологии. Учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены вопросы становления и развития нанобиотехнологии как отдельной дисциплины. Описаны особенности применения наноматериалов в биологии, медицине, пищевой технологии.…
-
Вычислительные нанотехнологии. Учебное пособие. ФГОС
Посвящено вычислительным аспектам, возникающим при создании устройств наноразмеров. Представлены многомасштабные модели для описания систем частиц от квантового уровня до моделирования молекулярной…
-
Экономика для менеджеров. Микро- и макроуровень. Учебное пособие
В книге даются ответы на наиболее важные вопросы экономической теории: как работает рынок? Почему рыночная система наиболее эффективно распределяет редкие ресурсы?…
-
Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника".…
-
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие
Пособие состоит из трех частей. Первая посвящена особенностям современного высшего технического образования и роли его фундаментальной составляющей в подготовке специалистов любого…
-
Основы нанотехнологий. 10-11 классы. Учебное пособие
Пособие представляет собой элективный курс, разработанный для организации дополнительного обучения и предназначенный для учащихся 10-11 классов школ и колледжей. Представлены теоретические…