Автор Галперин Вячеслав Александрович

В результате поиска найден 1 товар

Сортировка по: названию наличию цене

• Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
  

  Автор: Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович

  Издательство: Бином. Лаборатория знаний

  Год издания: 2018

  На складе

  539 р

  купить

  В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных…